Автор: Щагин Анатолий Васильевич, Демкин Василий Иванович, Кононов Владислав Юрьевич, Кабанова Алла Борисовна
Серия: Основы наук

Описание
Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.


ISBN: 978-5-9692-0251-1
Ссылка: https://love-magus.ru/book/130513.html
Категория: Автоматика. Вычислительная техника
Книга 2009 года

Цена: 247.00 руб.