Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
Химические науки 2009 год 494
Цена: 371.00 руб.
Автор: Гаврилов Сергей Александрович, Белов Алексей НиколаевичСерия: Основы наук
Описание
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
ISBN: 978-5-9692-0304-4
Ссылка: https://love-magus.ru/book/130555.html
Категория: Химические науки
Книга 2009 года
Цена: 371.00 руб.